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椭圆偏振测厚仪

更新时间:2022-07-22

产品型号:TP-TPY-1

厂家性质:经销商

访问次数:29

简要描述:

产品特点:
仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,具有精度高、灵敏度高以及方便测量等特点;
光源采用氦氖激光器,功率稳定、波长精度高;
仪器配有生成表、查表以及精确计算等软件,方便用户使用。

椭圆偏振测厚仪 偏振测厚仪 测厚仪 型号:TP-TPY-1

在近代科学技术的许多领域中对各种薄膜的研究和应用日益广泛。因此,更加精确和迅速的测定给定薄膜的光学参数已变得更加迫切和重要。在实际工作中可以利用各种传统的方法测定光学参数,如:布儒斯特角法测介质膜的折射率,干涉法测膜厚,其它测膜厚的方法还有称重法、X射线法、电容法、椭偏法等。由于椭圆偏振法具有灵敏度高、精度高、非破坏性测量等优点,因而,椭圆偏振法测量已在光学、半导体、生物、医学等诸多领域得到广泛应用。

产品特点:
仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,具有精度高、灵敏度高以及方便测量等特点;
光源采用氦氖激光器,功率稳定、波长精度高;
仪器配有生成表、查表以及精确计算等软件,方便用户使用。
 
规格与主要技术指标:
测量范围:薄膜厚度范围:1nm-300nm;      折射率范围:1-10
测量最小示值:≤1nm                      入射光波长:632.8nm  
光学中心高:80mm                         允许样品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm    
偏振器方位角范围:0°- 180°读取分辨率为0.05°
测量膜厚和折射率重复性精度分别为:±1nm和±0.01
主机重量:25kg    入射角连续调节范围:20°- 90°精度为0.05°
 
成套性:主机、电控系统、计算软件
外形尺寸:680*390*320mm


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