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半导体电阻率测试仪

更新时间:2023-11-04

产品型号:HHY8-BD-86A

厂家性质:经销商

访问次数:319

简要描述:

仪器主要技术指标:

1. 测量范围:电阻率10-3—103Ω-cm,分辩率为 10-4Ω-cm ,可扩展到105Ω-cm

方块电阻10-2—104Ω/□,分辩率为10-3Ω/□,可扩展到106Ω/□

薄层金属电阻10-4—105Ω,分辩率为10-4Ω

2.可测半导体材料尺寸:直径Φ15—Φ125mm; 长度:150mm(可扩展500mm)

半导体电阻率测试仪/电阻率测试仪/半导体电阻率测定仪(含探头和测试架) 型号:HHY8-BD-86A

HHY8-BD-86A半导体电阻率测试仪是我厂推出的的普及型半导体电阻率测试仪器,本仪器是根据四探针原理,适合半导体器材厂,材料厂用于测量半导体材料(片状、棒状)的体电阻率,方块电阻(簿层电阻),也可以用作测量金属薄层电阻,经过对用户、半导体厂测试的调查,根据美国ASTM标准的规定,在电路和探头方面作了重大的修改和技术上的许多突破,它更适合于半导体器材厂工艺检测方面对中值、高阻硅、锗材料方块电阻和体电阻率的测量需要,成为普及型的电阻率测试仪,具有测量精度高,稳定性好,输入阻抗高,使用方便、价格低廉等特点。

   仪器主要技术指标:

1  测量范围:电阻率10-3103Ω-cm,分辩率为 10-4Ω-cm ,可扩展到105Ω-cm

  方块电阻10-2104Ω/□,分辩率为10-3Ω/□,可扩展到106Ω/□

薄层金属电阻10-4105Ω,分辩率为10-4Ω

2.可测半导体材料尺寸:直径Φ15—Φ125mm  长度:150mm(可扩展500mm)

     3.测量方式:轴向、断面均可

4.数字电压表:(1)量程:20mV(分辩率:10μV)200mV2V

             2)测量误差:±0.3%读数±1

             3)输入阻抗:大于108Ω

             4)显示3 1/2 位红色发光二极管(LED)数字显示

                  0---1999具有极性、过载、小数点、单位自动显示

5.恒流源:由交流供电,具有良好的防泄漏隔离功能

1       直流电流:0—100mA连续可调

2       量程:10μA100μA1mA10mA100mA

3       分辩率:10nA0.1μA1μA10μA0.1mA

4       电流误差:±0.3%读数±2

6.电性能模拟考核误差:<±0.3%符合ASTM指标

7.测试探头:(1)探针机械游移率:± 0.3% 符合ASTM 指标

8.电源:交流220V±10%   50HZ60HZ  功率消耗< 30W

9.电气箱外形尺寸:119×440×320mm



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