概述
XRS-M-3型手持式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。
成套组成：由XRS-M-3主机、选配的四探针探头等二部分组成，也可加配测试台。
仪器所有参数设定、功能转换全部采用轻触按键输入；具有零位、满度自校功能；手动/自动转换量程可选；测试结果由数字表头直接显示。本测试仪采用可充电电池供电，适合手持式变动场合操作使用！
探头选配：根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头，以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；也有球形镀金铜合金探针探头，可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具，还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。配专用探头，也可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻。
仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、结构紧凑、使用简便等特点。
仪器适用于半导体材料厂、器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的手持式导电性能的测试。
基本技术参数
1. 测量范围、分辨率
电 阻: 0.010 ～ 50.00kΩ, 分辨率0.001 ～ 10 Ω
电 阻 率: 0.010～ 20.00kΩ-cm，分辨率0.001 ～ 10 Ω-cm
方块电阻: 0.050～ 100.0kΩ/□ 分辨率0.001 ～ 10 Ω/□
2. 可测材料尺寸
手持方式不限材料尺寸，但加配测试台则由选配测试台决定如下：
直 径：SZT-A圆测试台直接测试方式 Φ15～130mm。
SZT-C方测试台直接测试方式180mm×180mm。
长(高)度：测试台直接测试方式 H≤100mm。.
测量方位: 轴向、径向均可.
3. 量程划分及误差等级
量程（Ω-cm/□） | 2.000 | 20.00 | 200.0 | 2.000k | 20.00k |
电阻测试范围 | 0.010～2.200 | 2.000～22.00 | 20.00～220.0 | 0.200～2.200k | 2.000～50.00k |
电阻率/方阻 | 0.010/0.050～2.200 | 2.000～22.00 | 20.00～220.0 | 0.200～2.200k | 2.000～20.00k |
基本误差 | ±1%FSB±2LSB | ±2%FSB±2LSB |
4) 适配器工作电源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W，或电池供电
5) 外形尺寸：W×H×L=10cm×3.6cm×21cm
净 重：≤0.3kg
